Именно вычислительные алгоритмы позволяют выделить нужные аналитические линии, оценить и удалить фоновую составляющую, разделить перекрывающиеся пики, учесть статистическую природу измерений и компенсировать влияние состава исследуемого материала на регистрируемый сигнал. От качества этих алгоритмов во многом зависят точность, воспроизводимость и устойчивость результатов анализа.
Этой публикацией мы открываем цикл статей, посвященный математическим методам обработки спектрометрических данных в рентгенофлуоресцентном анализе которые мы применяем в своей работе. Последовательно рассмотрим, какие вычислительные задачи решаются внутри современного анализатора, почему каждая из них необходима и каким образом зарегистрированный спектр преобразуется в итоговые значения концентраций элементов.
Основной принцип рентгенофлуоресцентного анализа
В основе метода лежит взаимодействие первичного рентгеновского излучения с атомами исследуемого материала.

Рис. 1. Взаимодействие первичного пучка с веществом: фотоэффект, когерентное и инкогерентное рассеяние, формирующие характеристические пики и непрерывный фон
Для возбуждения атомов образца используется рентгеновская трубка. Первичное излучение трубки облучает пробу и выбивает электроны с внутренних оболочек атомов. Переход электронов с внешних уровней на освободившиеся места сопровождается испусканием квантов – рентгеновского излучения. Энергия этих квантов строго индивидуальна для каждого химического элемента.
В процессе измерения полупроводниковый детектор поглощает падающие фотоны рентгеновского излучения и поглощение каждого кванта генерирует в чувствительном объеме детектора электронно-дырочные пары, формируя зарядовый импульс, пропорциональный его энергии. По мере набора статистики прибор формирует спектр: гистограмму, где по горизонтальной оси отложена энергия квантов, а по вертикальной – количество зарегистрированных импульсов в каждом канале.
Характеристическое излучение формирует в спектре дискретные пики K-, L- и M-серий элементов. Интегральная площадь аналитического пика служит первичным значением интенсивности, отражающим содержание элемента в образце.
Спектральный фон под аналитическими пиками образуется в результате рассеяния первичного излучения рентгеновской трубки на матрице образца. Его составляют когерентн и некогерентно рассеянные характеристические линии материала анода рентгеновской трубки, а также рассеянное непрерывное тормозное излучение.
Регистрация квантов представляет собой случайный процесс, подчиняющийся статистике Пуассона и учет этого показателя критичен для математической обработки спектрометрических данных.
задает порог статистической значимости аналитического сигнала при определении малых концентраций элементов.В области наименьших энергий спектр резко обрывается. Это обусловлено работой аппаратного порога дискриминации, который отсекает собственные электрические и тепловые шумы полупроводникового детектора.
То есть фон, шум и порог регистрации становятся конкретными вычислительными задачами, которые последовательно решает программное обеспечение анализатора.
Определение концентраций – это обратная вычислительная задача
Если бы исследуемый образец содержал только один элемент, а зарегистрированный спектр состоял из единственной аналитической линии, задача количественного анализа была бы относительно простой. Интенсивность характеристического пика возрастала бы пропорционально содержанию элемента, а концентрацию можно было бы определить непосредственно по измеренной площади линии.
В реальных условиях ситуация значительно сложнее. Большинство промышленных, геологических и технологических материалов представляют собой многокомпонентные системы, в которых элементы одновременно влияют друг на друга в процессе возбуждения и регистрации рентгеновского излучения. Элементы с высокими атомными номерами способны поглощать характеристическое излучение более легких компонентов матрицы, снижая регистрируемую интенсивность их аналитических линий. Одновременно возможно вторичное и третичное возбуждение флуоресценции, при котором излучение одного элемента дополнительно возбуждает атомы другого. Кроме того, конечное энергетическое разрешение детектора приводит к частичному перекрытию близко расположенных спектральных линий. В результате интенсивность аналитического пика определяется уже не только концентрацией соответствующего элемента, а становится функцией состава всего исследуемого материала:
![]()
Следовательно, задача количественного РФА сводится к решению обратной задачи: по измеренному спектру необходимо определить набор концентраций, который наиболее точно объясняет наблюдаемое распределение интенсивностей.
От спектра к концентрациям
Преобразование зарегистрированного спектра в итоговый химический состав можно условно разделить на два крупных этапа. На первом этапе выполняется спектральная обработка. Ее задача состоит в том, чтобы получить чистые интенсивности аналитических линий каждого элемента. Для этого необходимо:
Результатом первого этапа становится набор интенсивностей: ![]()
На втором этапе выполняется расчет концентраций с учетом взаимного влияния элементов: ![]()
Именно здесь используются математические модели, позволяющие компенсировать поглощение, вторичное возбуждение и другие физические процессы, искажающие регистрируемый сигнал. Таким образом, программное обеспечение современного РФА-анализатора последовательно решает две взаимосвязанные задачи: сначала восстанавливает истинные интенсивности аналитических линий, а затем вычисляет концентрации элементов на основе полученных данных.
Современные подходы к решению обратной задачи
За время развития рентгенофлуоресцентного анализа было предложено несколько подходов к решению этой задачи:
Метод фундаментальных параметров позволяет сформировать физически корректное описание процессов взаимодействия рентгеновского излучения с веществом, тогда как алгоритмы машинного обучения компенсируют аппаратные особенности измерительной системы и остаточные нелинейности, которые трудно описать аналитически. Такое сочетание обеспечивает высокую устойчивость вычислений при изменении состава материала, толщины слоя, влажности и других факторов, неизбежно возникающих в условиях непрерывного промышленного контроля.
Таким образом, регистрация рентгенофлуоресцентного спектра является лишь первым этапом количественного анализа. Несмотря на то что зарегистрированный сигнал уже содержит информацию о химическом составе образца, напрямую использовать его для определения концентраций невозможно и его преобразование в достоверные значения массовых долей представляет собой последовательное решение ряда вычислительных задач. На каждом этапе применяются специализированные математические алгоритмы, отвечающие за выделение полезного сигнала, оценку его статистической достоверности, компенсацию физических искажений и расчет концентраций элементов.
Именно качество этих алгоритмов во многом определяет точность, воспроизводимость и устойчивость работы современных РФА-анализаторов. По мере развития вычислительных методов программное обеспечение становится таким же важным элементом аналитической системы, как рентгеновская трубка, детектор или электронный тракт регистрации.
В следующих публикациях мы расскажем о том, какие модели мы используем для обработки спектральных данных, включая модели на основе фундаментальных параметров и машинного обучения.